|  | 22 |  | 2025 | 50,00 mio. € |
|  | 23 |  | 2022 | 11,00 mio. € |
|  | 26 |  | 2023 | 10,00 mio. € |
|  | 26 |  | 2024 | 8,00 mio. € |
| 
 | 18 |  | 2022 | 7,00 mio. € |
|  | 23 |  | 2023 | 7,00 mio. € |
|  | 25 |  | 2024 | 7,00 mio. € |
|  | 28 |  | 2022 | 7,00 mio. € |
| 
 | 26 |  | 2024 | 6,50 mio. € |
|  | 26 |  | 2024 | 6,50 mio. € |
|  | 23 |  | 2024 | 6,00 mio. € |
| 
 | 22 |  | 2023 | 5,00 mio. € |
| 
 | 30 |  | 2021 | 4,30 mio. € |
|  | 25 |  | 2021 | 3,00 mio. € |
|  | 26 |  | 2023 | 2,80 mio. € |
|  | 21 |  | 2024 | 2,50 mio. € |
| 
 | 20 |  | 2021 | 2,50 mio. € |
| 
 | 23 |  | 2022 | 1,50 mio. € |
| 
 | 28 |  | 2021 | 1,00 mio. € |
| 
 | 23 |  | 2022 | 1,00 mio. € |
|  | 24 |  | 2023 | 900 K € |
| 
 | 21 |  | 2021 | 725 K € |
|  | 22 |  | 2022 | 600 K € |
|  | 24 |  | 2021 | 600 K € |
| 
 | 23 |  | 2022 | 550 K € |
| 
 | 25 |  | 2022 | 400 K € |
|  | 22 |  | 2021 | 400 K € |
|  | 22 |  | 2021 | 350 K € |
|  | 24 |  | - | 350 K € |
| 
 | 22 |  | 2021 | 350 K € |
|  | 23 |  | 2022 | 300 K € |
| 
 | 22 |  | 2021 | 250 K € |
|  | 20 |  | 2023 | 225 K € |
|  | 21 |  | 2023 | 200 K € |
| 
 | 19 |  | - | 200 K € |
| 
 | 20 |  | 2021 | 175 K € |
| 
 | 22 |  | 2021 | 125 K € |
|  | 18 |  | 2020 | - |